INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Manuel (Page 95)

Travaux de Maintenance
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9.5.4 Maintenance après 16000 heures d’opération
La maintenance après 16000 heures d’opération du UL5000 devrait être effectuée
par un technicien du service INFICON ou par une autre personne autorisée.
L’espérance de vie de l’emplacement pour la pompe turbomoléculaire ainsi que les
autres différents types de pompes primaires est estimé à 16000 heures d’opération
du détecteur de fuites.
Le module Scroll (IWATA ISP 500 oder Varian TS 620) ainsi que le pompe turbomo-
léculaire doivent être remplacés.
La maintenance après 16000 heures d’opération requiert environ 10 heures.
Travaux nécessaires Composants nécessaires Réf.
Remplacer le module Scroll (IWATA ISP-500B) • Module Scroll pour IWATA ISP-500B 200000217R
Remplacer le module Scroll (Varian TS 620) • module Scroll (Varian TS 620) 200001665R
Remplacer la pompe turbo TMH 07 • Pompe turbomoléculaire TMH 071 200000569R
Démonter/nettoyer le bloc de valves.
Remplacer les joints de valves.
• Jeu de joints pour le bloc de valves
• Jeu de joints pour valves
200000593
200000594
Contrôler et/ou remplacer le filtre • Cartouche filtrante de rechange
• Filtre de rechange pour la conduite de
remise à l’air et de rinçage
• Silencieux
200000685
200000683
20099183
Contrôle du fonctionnement et réglage