INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Manuel (Page 91)

Travaux de Maintenance
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CHNIQUE
(1
10
7)
9.4 Plan de maintenance
9.5 Groupes de maintenances
Pour une meilleure vue d’ensemble, le plan de maintenance du UL5000 peut être
simplifié en 4 groupes de maintenance.
• Maintenance après 1500 heures d’opération
• Maintenance après 4000 heures d’opération, au moins une fois par an
• Maintenance après 8000 heures d’opération
• Maintenance après 16000 heures d’opération
Différentes parties Travaux à effectuer Heures d’opération/Années Niveau
de
service
Ref
UL1000 / UL1000 Fab 1500 4000 8000 16000
1/4 1 2
Système de vide
Pompe Scroll IWATA Remplacer le module Scroll X III 200000021R
ISP 500
Pompe Scroll Varian Remplacer le Tip-Seal X
1
III 200001671
TS 620 Remplacer le module Scroll. X III 200001665R
TMH 071 Remplacer la réserve de lubrifiant. X II u. III 200000577
Changer d’emplacement. X III
Bloc de valve Nettoyer les valves et remplacer les les joints
de valves. 2 X III 200000594
Démonter le bloc de valve et nettoyer le. 2 X III 200000593
Renouveler le filtre de la conduite de remise
à l’air et de rinçage. 1 X
1
I, II ,III 200000683
Ajuster le Pirani. X III
Silencieux Échanger X
1
I, II, III 20099183
Electrique
Système de ventilation Nettoyer le ventilateur sur le côté et bas du
Châssis-(par ex. en pressant l’air)
1 X
1
I
Remplacer la cartouche filtrante. 1 X
1
I 20000685